Toza xonalardagi statik elektr toki zarar
Yarıiletkenler, tekis panelli displeylar, optoelektroniklar va boshqa toza xonalar, ko'plab ishlarga qaramasdan, toza xonadagi elektrostatik muammolar ishlab chiqarish xavfsizligi va mahsulot rentabelligini ta'sir qiladi, ishlab chiqarish xarajatlarini va afzalliklarini ta'sir qiladi, mahsulot sifati va ishonchliligiga ta'sir qiladi.
1. Elektromagnit Coulomb kuch
Elektrostatik Coulomb kuchining ta'siri ostida adsorbsiyalangan chang va axloqsizlik tarkibiy qismlarining oqishi yoki qisqa tutashuv hosil bo'lishiga olib keladi, bu esa ishlashga putur etkazadi va hosil va ishonchni sezilarli darajada pasaytiradi. Agar changning zarracha kattaligi> 100 mm bo'lsa, alyuminiy paychalarining kengligi taxminan 100 mikrometreni tashkil etadi va oksid kinoining qalinligi 50 mm ni tashkil qiladi, bu mahsulot eng katta ehtimoldan mahrum bo'ladi. Endi sim diametri juda nozik, oksid plyonka juda nozik va kichik zarracha hajmi bo'lgan chang zarralari buzilishiga olib keladi. Bu asosan korroziya tozalash, fotolitografiya, spotli payvandlash va qadoqlash jarayonlarida bo'ladi.
2, ESD elektrostatik oqimi
(1) Komponentning yalıtkan oksidi filmi buziladi va o'q qo'rqib ketadi yoki chiziq pufladi. Inson tanasi 10KV (100PF) statik zaryadga ega bo'lsa, ESD qurilmaga tegib ketganda paydo bo'ladi va zarba oqimining oqimi 20A (10 ~ 100s) ga qadar cho'ziladi, zich zichlik, tel diametri, ingichka SiO2 kino. Lsi, Vlsi, umumiy IC, MOS zarar ko'radi.
Umuman olganda, qurilma SiO2 plyonkasining izolyatsiyalash devorining kuchlanish maydon kuchlanishi E = (5-10) × 106V / sm dir. Agar qurilma SiO2 ning kino qalinligi 1000 bo'lsa, 50V-100V yoki undan ko'p bo'lgan statik kuchlanish qurilmaning kirish pinini qo'llaganida uriladi. 50V, 100V dan ortiq statik elektr kuchi bilan ishlaydigan tanasi juda keng tarqalgan.
(2) shovqin va elektromagnit shovqinlarni keltirib chiqaradi
ESD elektromagnit to'lqindan oldin va keyin EMI ning o'tkir piktasiga ega bo'lishiga sabab bo'ladi va signal kuchlidir, bu elektronda bir necha voltsli energiyaga teng. Chastotalar bir necha MH2 yoki MH2 yuzlab kuchli shovqinlarni keltirib chiqaradi. Bu shikastlanishga olib kelishi mumkin, uskunalar va sensorlar to'g'ri ishlamasligi yoki hatto qurilmaning qulashi.
ESD tomonidan kelib chiquvchi EMI, shuningdek, xato signalini yoki qulflash hodisasini kiritishga sabab bo'ladi. Toza xonada gofretning EMIF qutisi po'lat aravaga joylashtiriladi va gofretning ESD induktor orqali tramvayga uzatiladi. G'ildirak izolyatsiyalanadi va EMI ning tarqalishi gofrirovka ishlovchilarining qulashiga olib keladi.
(3) Inson vujudiga elektr shoki
Inson tanasining ESD yoki inson tanasining ESD darajasi inson tanasining 5 mA va undan ortiq elektr tokning zarbasidan oshib ketganda, odamlar turli tana hissiyotlarini boshdan kechiradilar, xodimlarning hissiy tashvish va operatsion xatolar sabab bo'ladi.
Yarimo'tkazgichlar, tekis panelli displeylar va optoelektronikalar kabi tozalash xonalari juda ko'p ishlarni amalga oshirdi, ammo toza xonalarda joylashgan statik muammolar ishlab chiqarish xavfsizligi va mahsulot rentabelligiga ta'sir qilmoqda, ishlab chiqarish xarajatlari va afzalliklariga ta'sir qiladi va mahsulot sifati va ishonchliligiga ta'sir qiladi. Chet ellik sanoat ekspertlarining fikriga ko'ra, AQShda statik elektr energiyasining yo'qotilishi yiliga 8-33% tashkil qiladi. Ba'zi odamlar Amerika Qo'shma Shtatlaridagi elektronika sanoatiga yillik zarar 10 milliard dollarga teng ekanligini taxmin qiladilar. 1980-yillarda Yaponiyadagi elektron mahsulotlarni tahlil qildi. ESD tomonidan etkazilgan zarar 1/3 ga teng. Xitoyning yarim o'tkazgichlari, tekis panelli suyuq kristall displeylar, optoelektronika va boshqalar hamma vaqt kechikdi, ammo elektrostatik xavf-xatarlar vaqti-vaqti bilan yuz beradi va hosil kam. Banklar, qimmatli qog'ozlar korxonalari, maxfiy ma'lumotlar bazalari, monitoring markazlari, elektr dispetcherlik xonalari va boshqalar, agar ESD paydo bo'lsa, bu shovqinga olib kelishi oson va ma'lumotlar yo'qolib qolsa, vaziyat yanada jiddiyroq.