Toza xonalar uchun ESD himoya talablari
Tashqi havo sharoitlari qanday o'zgarmasin, Cleam xonasi avvalgidek tozalik, harorat, namlik va bosim xususiyatlarini saqlab turishi mumkin.
Toza xonaning asosiy vazifasi - mahsulotlar (masalan, kremniy chiplari va boshqalar) bilan aloqada bo'lgan atmosferaning tozaligini, haroratini va namligini nazorat qilish, shuning uchun mahsulotlar yaxshi ekologik makonda ishlab chiqarilishi va ishlab chiqarilishi mumkin. Bu joy" toza xona"".
Xalqaro standartlarga ko'ra, toza xona darajasi asosan, kubometr havodagi zarrachalar soniga bog'liq, ularning diametri tasnif standartidan kattaroqdir.
Toza xonani quyidagi talablarga muvofiq sozlash kerak:
1. Anti-statik zamin: nuqtadan nuqtaga qarshilik< 10e9ω;="" nuqtadan="" erga=""><>
2. Anti-statik devor taxtasi: nuqta-nuqta qarshiligi< 10e9ω;="" nuqtadan="" erga=""><>
3. Anti-statik oyna: nuqta-nuqta qarshiligi< 10e9ω;="" nuqtadan="" erga=""><>
4. Ishonchli topraklama tizimi: nuqtadan nuqtaga qarshilik<>
5. Havo ionlash tizimi: jarayon texnologiyasiga muvofiq muvozanat kuchlanish diapazoni va quvvatsizlanish vaqtini aniqlang. Tavsiya: muvozanat kuchlanishi< ±="">