Elektrostatikani muhofaza qilishning asosiy g'oyalari va texnik yondashuvlari
Elektrostatik oqim qurilmaga zarar etkazishi mumkin, lekin ESD tizimini o'rnatish uchun to'g'ri va to'g'ri ESD muhofaza qilish va nazorat qilish choralarini qabul qilib, ESD komponentlarga zarar yetkazishni kamaytirish uchun yo'q qilinishi yoki nazorat qilinishi mumkin. Elektrostatikani himoya qilish va sezgir asboblarni boshqarish uchun ikkita asosiy g'oya mavjud:
1. (1) Tuproqning paydo bo'lishi mumkin bo'lgan joylarda statik elektr energiyasini to'plashni taqiqlang va elektrostatik oqishni oldini olish yoki kamaytirish uchun aniq chora-tadbirlar ko'rsating yoki elektr tokini yig'ishning oldini olish uchun "yonish vaqtida oqish" usulini qabul qiling. . To'lov ziyon keltirmaydigan darajada nazorat qilinadi.
1. (2) to'plangan to'lovni tez va ishonchli tarzda to'plang.
2.1 Process Control Boshqaruvi
Ishlab chiqarish jarayonida iloji boricha kam statik elektr quvvatini ishlab chiqarish uchun mo'ljallangan. Buning uchun statik elektroenergiyani ishlab chiqarish va to'plashni nazorat qilish, elektrostatik potentsialni va elektrostatik oqimlarni bartaraf etish uchun jarayon oqimi, materiallarni tanlash, uskunani o'rnatish va operatsion boshqarish aspektlaridan olinadi. zarar. Yarimo'tkazgichni ishlab chiqarish jarayonida bo'lgani kabi, chayqatish uchun deionlashtirilgan suvning chidamliligi yuqori tezlikda ishlaydigan quruq jismni shakllantirish jarayoni tugallangandan so'ng nazorat qilinishi kerak. Qarshiligi yuqori bo'lsa-da, tozalash ta'siri qanchalik yaxshi bo'lsa-da, qarshiligi yuqori bo'lsa, chip ustida ishlab chiqariladigan statik elektr qancha baland bo'lsa. Shuning uchun, odatda, 8 MŌ'dan bir oz yuqori darajada nazorat qilinadi va dastlabki jarayon uchun 16-17 MŌ bo'lishi mumkin emas. Bundan tashqari, materiallarni tanlashda qadoqlash materiallari antistatik materiallardan foydalanishi, ishlov berilmagan polimer materiallaridan saqlanishiga harakat qilish kerak.
2.2 Oqish usuli
Oqish orqali statik elektrni yo'qotish uchun mo'ljallangan. Odatda elektrostatik topraklama erga elektr zaryadining oqishi hisoblanadi; ob'ektning elektrostatik razvedka qo'shilishi yoki namlik darajasini oshirish kabi ob'ektning sirtida yoki ichki qismida oqishiga sabab bo'lishi uchun ob'ektning elektr o'tkazuvchanligini kuchaytirish usuli ham mavjud. Eng keng tarqalgan bo'lib, xodimlar va statik topraklama posti tomonidan giyilen antistatik bilaklik askısıdır.
2.3 Elektrostatik himoya qilish usuli
Elektrostatik himoya qilish tamoyiliga ko'ra, uni ikki turga bo'lish mumkin: ichki maydonni ekranlash va tashqi maydonni ekranlash. Maxsus chora, zaryadlangan tanani tuproqli ekranli qopqoqli boshqa narsalardan ajratib olishdir, shuning uchun zaryadlangan korpusning elektr maydoni boshqa atrofdagi narsalarga ta'sir qilmaydi (maydonni ekranlashda); Ba'zan ekranlangan qopqoq, tashqi elektr maydonlardan (tashqi sirt himoyasi) himoyalangan bo'lishi uchun ajratilgan ob'ektni o'rab olish uchun ishlatiladi. Misol uchun, GaAs qurilma to'plami metall korpus yoki metall kino foydalanadi.
2.4 Murakkab neytrallashtirish usuli
Bu murakkab neytrallashtirish orqali statik tokni yo'qotishga qaratilgan. Zaryadlangan organga zararli holatga erishish uchun zaryadli ionli murakkab kompleks hosil qilish uchun topraklama eliminatorni ishlatish. Umuman aytganda, zaryadlangan organlar yalıtkan bo'lsa, elektr zaryadini izolyatorda oqmasligi sababli, topraklama usuli elektr zaryadini oqishi uchun ishlatilishi mumkin emas. Bunday holatda antistatik elimerni neytrallash uchun turli xil ionlarni hosil qilish uchun ishlatish kerak. Ushbu uslub konveyer bantida hosil bo'lgan elektrostatik zaryadni bartaraf etishda ishlatiladi.
2.5 toza chora-tadbirlar
Fasılalı boşalmaları oldini olish uchun mo'ljallangan. Shu maqsadda, zaryadlangan korpusining va atrofdagi narsalarning yuzasi intervalgacha deşarj imkoniyatini kamaytirish uchun iloji boricha silliq va toza bo'lishi kerak.